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氮化铝陶瓷加工

氮化铝陶瓷  ALN

氮化铝陶瓷具有很好的热传导性、绝缘性、放热性、耐热冲击性等。可作为防热耐热材料。

主要用途：

半导体制造装置部品；防热性基材等。

ALN的性能特点

氮化铝陶瓷有很高的热导率，在陶瓷材料中仅次于SiC和BeO，目前国内平均水平为150W／m·K，国外为180 ～ 250／m·K，是氧化铝陶瓷热导率的7 ～ 8 倍；其机械强度和介电强度都优于氧化铝陶瓷，膨胀系数、介电性能分别与Si和氧化铝陶瓷相近。因而人们希望用高热导率的氮化铝陶瓷替代氧化铍或氧化铝陶瓷用于高密度、电子封装的陶瓷基板材料。

(2)金刚石砂轮磨削去除材料是由于磨粒切入工件时,磨粒切削刃前方的材料受到挤压,当压应力值超过陶瓷材料承受极限时便被压溃,形成大片碎屑。另方面磨粒切入工件时,由于压应力和摩擦热的作用，,磨粒下方的材料会产生局部塑性流动,形成变形层。当磨粒划过后,由于应力的消失弓|起变形层从工件_上脱离形成切屑。在材料去除的整个过程中,前刀面的压溃去除是主要的。(3)认为工程陶瓷材料磨削去除过程分为三个阶段:弹性滑擦、流动变形和脆性断裂。

1.电火花线切割加工：火花线切割加工是研究得较多也是较为成熟的一种，-般的研究都是试图找出线切割加工的各种电参数与加工质量和加工效率之间的关系,国内也做了大量的工作。近,江苏理工大学朱曾采用普通的数控式线切割机对工程陶瓷A1203-TiC线切割加工电参数进行优化试验,找出影响生产率和表面粗糙度的主要因素和较优组合。研究结果表明:电源脉冲间隔对生产有利;加工生产率在较小的脉宽范围内并不随脉宽的增加而提高,较小的脉宽也能取得较高的生产率,这与金属加工的加工生产率一般随脉宽的增加而提高不同;脉冲电压幅值对加工表面粗糙度的影响较大。可观,较大的脉冲间隔和较大的脉冲电压幅值对陶瓷材料的加工有利。